CSIC、バルセロナのIMB-CNMにスペイン初の量子ナノファブリケーションエリアを開設

スペイン国立研究評議会（CSIC）は、バルセロナ微細・ナノファブリケーション研究所（IMB-CNM）内のマイクロ・ナノファブリケーションクリーンルームに、量子ナノファブリケーションエリアを開設しました。この施設は、スペイン最大の量子デバイス試作向けクリーンルーム研究インフラであり、ナノスケールでの製造と計測ツール群を統合し、量産前の量子ハードウェアを産業パイロットラインへ移行させることを目指しています。

この施設改修には、スペインのPERTE Chipプログラム（NextGenerationEUからの資金提供）およびCSICの量子技術学際テーマプラットフォーム（QTEP+）傘下の量子通信補完計画を通じて、600万ユーロ（約9億円相当）を超える投資が行われました。クリーンルームに追加された技術能力には、EBPG 5150Plus電子ビームリソグラフィシステム、複合走査型電子顕微鏡および電子ビームリソグラフィ（SEM/EBL）装置、原子間力顕微鏡（AFM）システムが含まれます。これらのスイートは、量子プロセッシングユニット（QPU）、フォトニック集積回路、量子鍵配布（QKD）コンポーネントのナノメートルスケールでのパターン形成と特性評価をサポートします。